UL1000Fab氦氣檢漏儀是工業(yè)或半導(dǎo)體環(huán)境中經(jīng)濟(jì)型氦氣真空泄漏檢測(cè)的標(biāo)準(zhǔn)。

通過儀器的干式泵技術(shù)，可以消除被測(cè)部件或設(shè)備被碳?xì)浠衔锘蝾w粒污染的可能性。UL1000FAB在高性能、超高穩(wěn)健性和經(jīng)濟(jì)性之間提供了的性價(jià)比。它提供的10-12mbar·l/s檢測(cè)極限，具備合理的短抽氣時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間的特點(diǎn)。緊湊的設(shè)計(jì)提供了高度的機(jī)動(dòng)性，方便進(jìn)入空間有限的維修區(qū)域?？蛇x的背景本底抑制（iZERO）功能能夠在2秒內(nèi)實(shí)現(xiàn)低于現(xiàn)有背景本底水平狀態(tài)持續(xù)進(jìn)行泄漏測(cè)試。

┃ 典型應(yīng)用

• 對(duì)清潔度要求嚴(yán)苛的工業(yè)真空設(shè)備制造

• 在將真空組件或子組件安裝到現(xiàn)有工具中之前

• 真空工具的維護(hù)工作，無論是否有泵的支持

• 工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝

• 半導(dǎo)體、平板顯示器或太陽能電池制造

┃ 設(shè)備特點(diǎn)

• 通過縮短抽氣時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間加快泄漏檢測(cè)工作

• 通過使用可選的背景抑制（izero），避免需要進(jìn)行多次泄漏測(cè)試

• 通過緊湊的設(shè)計(jì)方便進(jìn)入空間有限的維護(hù)區(qū)域

• 通過耐用的兩個(gè)熱絲離子源（三年保修）和逆流式真空系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)低擁有成本(TCO)

• 通過可旋轉(zhuǎn)顯示、聲音和燈光泄漏提示以及可選的遠(yuǎn)程控制降低應(yīng)用難度

• 通過內(nèi)置泄漏測(cè)試和自動(dòng)校準(zhǔn)程序?qū)崿F(xiàn)低成本維護(hù)